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文献
J-GLOBAL ID：201702286987280123
整理番号：17A0210440
環境走査電子顕微鏡におけるマスクレス,高精度,持続性,極端な濡れコントラストパターニング
Maskless, High-Precision, Persistent, and Extreme Wetting-Contrast Patterning in an Environmental Scanning Electron Microscope
Liimatainen Ville
(Department of Electrical Engineering and Automation, School of Electrical Engineering, Aalto University, Otaniementie 17, Espoo, 02150, Finland)
,
Shah Ali
(Department of Micro- and Nanosciences, School of Electrical Engineering, Aalto University, Otaniementie 17, Espoo, 02150, Finland)
,
Johansson Leena-Sisko
(Department of Forest Products Technology, School of Chemical Technology, Aalto University, Otaniementie 17, Espoo, 02150, Finland)
,
Houbenov Nikolay
(Department of Applied Physics, School of Science, Aalto University, Otaniementie 17, Espoo, 02150, Finland)
,
Zhou Quan
(Department of Electrical Engineering and Automation, School of Electrical Engineering, Aalto University, Otaniementie 17, Espoo, 02150, Finland)
資料名：
Small
(Small)
巻： 12 号： 14 ページ： 1847-1853 発行年： 2016年04月13日
JST資料番号： W2348A ISSN： 1613-6810 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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