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文献
J-GLOBAL ID：201702287150705201
整理番号：17A0085722
毛管力と磁場ベースのピックアンドプレース技術を利用する極薄型デバイスの集積
Integration of Ultrathin Device Utilizing Capillary Force and a Magnetic-Field-Based Pick-and-Place Method
Xiao Jing
(College of Electrical and Information Engineering, Hunan University, Changsha, China)
,
Chaudhuri Ritesh Ray
(Department of Electrical Engineering, The City College of New York, New York, NY, USA)
,
Liu Xiaolong
(College of Electrical and Information Engineering, Hunan University, Changsha, China)
,
Seo Sang-Woo
(Department of Electrical Engineering, The City College of New York, New York, NY, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 25 号： 6 ページ： 1005-1014 発行年： 2016年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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