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文献
J-GLOBAL ID：201702287165812479
整理番号：17A0447885
低酸素条件下での単結晶けい素の高温ナノ引かき【Powered by NICT】
High temperature nanoscratching of single crystal silicon under reduced oxygen condition
Chavoshi Saeed Zare
(Department of Mechanical Engineering, Imperial College London, Exhibition Road, London, SW7 2AZ UK)
,
Gallo Santiago Corujeira
(School of Metallurgy and Materials, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK)
,
Dong Hanshan
(School of Metallurgy and Materials, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK)
,
Luo Xichun
(Centre for Precision Manufacturing, Department of Design, Manufacture and Engineering Management, University of Strathclyde, Glasgow G1 1XJ, UK)
資料名：
Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing
(Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing)
巻： 684 ページ： 385-393 発行年： 2017年
JST資料番号： D0589B ISSN： 0921-5093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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