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文献
J-GLOBAL ID：201702287800318201
整理番号：17A1544920
マイクロエレクトロニクスにおける炭素関連欠陥【Powered by NICT】
Carbon-related defects in microelectronics
Kolkovsky Vl.
(Fraunhofer IPMS, Dresden Maria-Reiche Str. 2, 01109 Dresden, Germany)
,
Stuebner R.
(Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany)
,
Weber J.
(Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 76-77 ページ： 145-148 発行年： 2017年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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