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文献
J-GLOBAL ID：201702287849674253
整理番号：17A0193740
偏光解析測定のための回転可能なOffner画像化システム
Rotatable Offner imaging system for ellipsometric measurement
Jin L.
(Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan)
,
Tanaka T.
(Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan)
,
Kondoh E.
(Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan)
,
Gelloz B.
(Faculty of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Aichi 464-8601, Japan)
,
Sano K.
(Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan)
,
Fujio I.
(Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan)
,
Kajiyama Y.
(Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan)
,
Uehara M.
(Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 88 号： 1 ページ： 013704-013704-7 発行年： 2017年01月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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