文献
J-GLOBAL ID:201702287889875578
整理番号:17A0449082
対向ターゲットスパッタリングにより堆積したMoN_x皮膜の構造と性質に及ぼす窒素流速の影響【Powered by NICT】
Effect of nitrogen flow rate on structure and properties of MoNx coatings deposited by facing target sputtering
著者 (4件):
Wang Tao
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Zhang Guojun
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Ren Shuai
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Jiang Bailing
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
資料名:
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻:
701
ページ:
1-8
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0083A
ISSN:
0925-8388
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)