文献
J-GLOBAL ID:201702288336114434
整理番号:17A0381619
30%電気機械結合係数をもつ横方向振動ニオブ酸リチウムMEMS共振器【Powered by NICT】
Laterally vibrating lithium niobate MEMS resonators with 30% electromechanical coupling coefficient
著者 (4件):
Pop Flavius V.
(Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Kochhar Abhay S.
(Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Vidal-Alvarez Gabriel
(Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Piazza Gianluca
(Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
966-969
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)