文献
J-GLOBAL ID:201702288871712856
整理番号:17A0406436
Ti/W,Ti/Cr,Ti/Pt薄膜Iの特性化:表面形態とナノ機械的特性【Powered by NICT】
Characterization of Ti/W, Ti/Cr, and Ti/Pt thin films-part I: Surface morphologies and nano-mechanical properties
著者 (2件):
Kim Yongdae
(Agency for Defense Development, P.O. Box 35, Yuseong, Daejeon, 34186, Republic of Korea)
,
Choi Hyun Young
(Agency for Defense Development, P.O. Box 35, Yuseong, Daejeon, 34186, Republic of Korea)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
254
ページ:
9-19
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)