文献
J-GLOBAL ID:201702288953292280
整理番号:17A0579288
空間大気圧プラズマで強化されたALDにより作製したガス拡散バリア
Gas Diffusion Barriers Prepared by Spatial Atmospheric Pressure Plasma Enhanced ALD
著者 (10件):
HOFFMANN Lukas
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
THEIRICH Detlef
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
PACK Sven
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
KOCAK Firat
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
SCHLAMM Daniel
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
HASSELMANN Tim
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
FAHL Henry
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
RAEUPKE Andre
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
GARGOURI Hassan
(SENTECH Instruments GmbH, Berlin, DEU)
,
RIEDL Thomas
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
資料名:
ACS Applied Materials & Interfaces
(ACS Applied Materials & Interfaces)
巻:
9
号:
4
ページ:
4171-4176
発行年:
2017年02月01日
JST資料番号:
W2329A
ISSN:
1944-8244
CODEN:
AAMICK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)