文献
J-GLOBAL ID:201702289157204694
整理番号:17A0381608
高C_x/Co13nm容量ギャップ変換円板共振器【Powered by NICT】
High Cx/Co 13nm-capacitive-gap transduced disk resonator
著者 (3件):
Nilchi Jalal Naghsh
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)
,
Liu Ruonan
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)
,
Nguyen Clark T.-C.
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
924-927
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)