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文献
J-GLOBAL ID:201702289157204694   整理番号:17A0381608

高C_x/Co13nm容量ギャップ変換円板共振器【Powered by NICT】

High Cx/Co 13nm-capacitive-gap transduced disk resonator
著者 (3件):
Nilchi Jalal Naghsh
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)
Liu Ruonan
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)
Nguyen Clark T.-C.
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of California at Berkeley, CA, USA)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2017  号: MEMS  ページ: 924-927  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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