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文献
J-GLOBAL ID：201702289273528633
整理番号：17A0499669
プラズマと蒸着エネルギーによる薄膜成長と微細構造の経路の成形: 詳細な理論,計算,および実験的分析
Shaping thin film growth and microstructure pathways via plasma and deposition energy: a detailed theoretical, computational and experimental analysis
Sahu Bibhuti Bhusan
(Center for Advanced Plasma Surface Technology (CAPST), NU-SKKU Joint Institute for Plasma Nano Materials, Department of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 440-746, Korea. bibhutisahu@yahoo.com sahu@skku.edu hanjg@skku.edu)
,
Han Jeon Geon
,
Kersten Holger
資料名：
Physical Chemistry Chemical Physics
(Physical Chemistry Chemical Physics)
巻： 19 号： 7 ページ： 5591-5610 発行年： 2017年
JST資料番号： A0271C ISSN： 1463-9076 CODEN： PPCPFQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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