文献
J-GLOBAL ID:201702289516726342
整理番号:17A0054802
ミスアラインメント2分解能計測データのマッチング【Powered by NICT】
Matching Misaligned Two-Resolution Metrology Data
著者 (3件):
Wang Yaping
(Department of Industrial and System Engineering, Texas A&M University, College Station, TX, USA)
,
Moreno-Centeno Erick
(Department of Industrial and System Engineering, Texas A&M University, College Station, TX, USA)
,
Ding Yu
(Department of Industrial and System Engineering, Texas A&M University, College Station, TX, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Automation Science and Engineering
(IEEE Transactions on Automation Science and Engineering)
巻:
14
号:
1
ページ:
222-237
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1406A
ISSN:
1545-5955
CODEN:
ITASC7
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)