前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702289863248864
整理番号：17A0759397
MOVPEによりサファイア基板上に成長させたAlNの構造品質の改善のためのナノメータ薄A LD Al_2O_3【Powered by NICT】
Nanometer-thin ALD-Al2O3 for the improvement of the structural quality of AlN grown on sapphire substrate by MOVPE
Banal Ryan G.
(Optical and Electronic Materials Unit, National Institute for Materials Science (NIMS), 305-0044, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Imura Masataka
(Optical and Electronic Materials Unit, National Institute for Materials Science (NIMS), 305-0044, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Tsuya Daiju
(Nanofabrication Platform, NIMS, 305-0047, 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Iwai Hideo
(Materials Analysis Station, NIMS, 305-0047, 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Koide Yasuo
(Optical and Electronic Materials Unit, National Institute for Materials Science (NIMS), 305-0044, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Koide Yasuo
(Nanofabrication Platform, NIMS, 305-0047, 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
,
Koide Yasuo
(Research Network and Facility Services Division, NIMS, 305-0044, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki, Japan)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214 号： 2 ページ： ROMBUNNO.201600727 発行年： 2017年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。