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文献
J-GLOBAL ID：201702290177836613
整理番号：17A1398613
化学的機械的研磨中の共通金属相互接続への帯電誘起損傷の1例【Powered by NICT】
A case of charging induced damage into the common Metal Interconnect during Chemical Mechanical Polishing
Sub Yoon Myung
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Hian Bernard Yap Tzen
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Fong Lee It
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Minhar Ariffin Bin
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Wui Tan Kim
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Jin Looi Hui
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
,
Min Foo Thai
(X-FAB Sarawak Sdn. Bhd, Silicon Drive Sama Jaya Free Industrial Zone 93350 Kuching, Malaysia)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： ICOIP ページ： 83-86 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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