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文献
J-GLOBAL ID：201702290388617102
整理番号：17A0755247
ウエハプローブのテストプロセスのための電気機械モデルとシミュレーション【Powered by NICT】
An Electromechanical Model and Simulation for Test Process of the Wafer Probe
Li Junhui
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
,
Liao Hailong
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
,
Ge Dasong
(14th Research Institute of the China Electronics Technology Group Corporation, Nanjing, China)
,
Zhou Can
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
,
Xiao Chengdi
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
,
Tian Qing
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
,
Zhu Wenhui
(State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing and School of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University, Changsha, China)
資料名：
IEEE Transactions on Industrial Electronics
(IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 64 号： 2 ページ： 1284-1291 発行年： 2017年
JST資料番号： C0234A ISSN： 0278-0046 CODEN： ITIED6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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