文献
J-GLOBAL ID:201702290816096195
整理番号:17A0400427
熱原子層堆積により成長させたAl_2O_3 Y_2O_3誘電体ナノ積層膜の光学的性質に及ぼす二分子層厚さの影響【Powered by NICT】
Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al2O3-Y2O3 dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition
著者 (8件):
Lopez J.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
,
Lopez J.
(CONACyT, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
,
Sotelo A.
(Universidad Autonoma de Baja California, Km. 103 Carretera Tijuana-Ensenada, Ensenada, Baja California C.P. 22860, Mexico)
,
Castillon F.F.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
,
Machorro R.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
,
Nedev N.
(Universidad Autonoma de Baja California, Instituto de Ingenieria, Blvd. Benito Juarez s/n, C.P. 21280 Mexicali, B.C., Mexico)
,
Farias M.H.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
,
Tiznado H.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
資料名:
Materials Research Bulletin
(Materials Research Bulletin)
巻:
87
ページ:
14-19
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0954A
ISSN:
0025-5408
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)