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文献
J-GLOBAL ID:201702290816096195   整理番号:17A0400427

熱原子層堆積により成長させたAl_2O_3 Y_2O_3誘電体ナノ積層膜の光学的性質に及ぼす二分子層厚さの影響【Powered by NICT】

Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al2O3-Y2O3 dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition
著者 (8件):
Lopez J.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
Lopez J.
(CONACyT, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Sotelo A.
(Universidad Autonoma de Baja California, Km. 103 Carretera Tijuana-Ensenada, Ensenada, Baja California C.P. 22860, Mexico)
Castillon F.F.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
Machorro R.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
Nedev N.
(Universidad Autonoma de Baja California, Instituto de Ingenieria, Blvd. Benito Juarez s/n, C.P. 21280 Mexicali, B.C., Mexico)
Farias M.H.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
Tiznado H.
(Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)

資料名:
Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)

巻: 87  ページ: 14-19  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0954A  ISSN: 0025-5408  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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