文献
J-GLOBAL ID:201702291018590713
整理番号:17A0289840
0.33NA EUVLにおけるM1二棒構成ブロックに対するAI分解に基づく光源最適化の実験検証
Experimental verification of AI decomposition-based source optimization for M1 two-bar building blocks in 0.33NA EUVL
著者 (5件):
LAST T.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
WANG Z.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
VAN ADRICHEM P.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
DE WINTER L.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
FINDERS J.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9985
ページ:
99850W.1-99850W.6
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)