文献
J-GLOBAL ID:201702291046453845
整理番号:17A0662618
静電駆動型マイクロアクチュエータの動的解析におけるサイズ効果
Size effect on the dynamic analysis of electrostatically actuated micro-actuators
著者 (4件):
PENG J.S.
(Cheng Du Univ., Chengdu, CHN)
,
YANG L.
(Cheng Du Univ., Chengdu, CHN)
,
YANG L.
(Cheng Du Univ. Technol., Chengdu, CHN)
,
YANG J.
(RMIT Univ., VIC, AUS)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
5
ページ:
1247-1254
発行年:
2017年05月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)