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文献
J-GLOBAL ID：201702291319101056
整理番号：17A0851259
不平衡マグネトロンスパッタリングにより堆積したTi Cuベース薄膜金属ガラスのナノインプリンティング【Powered by NICT】
Nanoimprinting of Ti-Cu-based thin-film metallic glasses deposited by unbalanced magnetron sputtering
Kobata Junpei
(Metal Finishing and Analysis Section, Technology Research Institute of Osaka Prefecture, 2-7-1, Ayumino, Izumi City, Osaka 594-1157, Japan)
,
Miura Ken-ichi
(Metal Finishing and Analysis Section, Technology Research Institute of Osaka Prefecture, 2-7-1, Ayumino, Izumi City, Osaka 594-1157, Japan)
,
Amiya Kenji
(Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai City, Miyagi, 980-8577, Japan)
,
Fukuda Yasuyuki
(MAKABE R&D Co., Ltd., 3-1-25, Nigatake Miyagino, Sendai City, Miyagi 983-0036, Japan)
,
Saotome Yasunori
(Laboratory on Manufacturing Technology of Glassy Alloys, 1871-5, Hashie, Isezaki City, Gunma 372-0001, Japan)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 707 ページ： 132-136 発行年： 2017年
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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