文献
J-GLOBAL ID:201702291458695091
整理番号:17A0470334
アニーリングによるフラットな表現と構造化Si基板上のAu薄膜の分解【Powered by NICT】
Decomposition of thin Au films on flat and structured Si substrate by annealing
著者 (4件):
Batic Barbara Setina
(Institute of Metals and Technology, Lepi pot 11, 1000 Ljubljana, Slovenia)
,
Verbovsek Tim
(Institute of Metals and Technology, Lepi pot 11, 1000 Ljubljana, Slovenia)
,
Verbovsek Tim
(Jozef Stefan International Postgraduate School, Jamova 39, 1000 Ljubljana, Slovenia)
,
Setina Janez
(Institute of Metals and Technology, Lepi pot 11, 1000 Ljubljana, Slovenia)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
138
ページ:
134-138
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)