文献
J-GLOBAL ID:201702291684665936
整理番号:17A1637540
理論説明とFIB&TEM利用法【Powered by NICT】
FIB & TEM application methods with related theory explanations
著者 (6件):
Xie Lingzhi
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
,
Zheng Sunday
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
,
Lee J. H.
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
,
Li Ming
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
,
Zhang Mark
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
,
Chien Kary
(Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shenzhen 518118, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IPFA
ページ:
1-6
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)