文献
J-GLOBAL ID:201702291830163665
整理番号:17A1462231
高周波振動支援逆マイクロw-EDMにより実現した高密度,超高アスペクト比マイクロプローブアレイ【Powered by NICT】
A high-density, super-high-aspect-ratio microprobe array realized by high-frequency vibration assisted inverse micro w-EDM
著者 (2件):
Chen Shun-Tong
(Professor, Department of Mechatronic Engineering, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan)
,
Yang Shih-Wei
(Graduate student, Department of Mechatronic Engineering, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan)
資料名:
Journal of Materials Processing Technology
(Journal of Materials Processing Technology)
巻:
250
ページ:
144-155
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0650A
ISSN:
0924-0136
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)