文献
J-GLOBAL ID:201702291902350192
整理番号:17A0115351
2自由度空気圧分離表の圧力モード制御【Powered by NICT】
Pressure mode control of pneumatic isolation table with two degrees-of-freedom
著者 (2件):
Aoki Yui
(Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
,
Wakui Shinji
(Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ICAMechS
ページ:
265-270
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)