前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702291924945115
整理番号：17A0362480
FIB-SEM二重ビームシステムを用いた大規模横断展望面積試料上での高速レーザ除去法の応用【Powered by NICT】
Application of Fast Laser Deprocessing Techniques on large cross-sectional view area sample with FIB-SEM dual beam system
Zhao Y.Z.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Zhao Y.Z.
(Centre for Disruptive Photonic Technologies, Nanyang Technological University, 21 Nanyang Link, 637371, Singapore)
,
Wang Q.J.
(Centre for Disruptive Photonic Technologies, Nanyang Technological University, 21 Nanyang Link, 637371, Singapore)
,
Tan P.K.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Yap H.H.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Liu B.H.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Feng H.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Tan H.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
He R.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Huang Y.M.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Wang D.D.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Zhu L.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Chen C.Q.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Rivai F.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Lam J.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Mai Z.H.
(Globalfoundries Singapore Pte. Ltd, 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 64 ページ： 362-366 発行年： 2016年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。