文献
J-GLOBAL ID:201702295122842919
整理番号:17A0656835
容量結合酸素放電における準安定O2(b1Σg+)及びエネルギー依存二次電子放出量の役割
The role of the metastable O2(b1Σ+g) and energy-dependent secondary electron emission yields in capacitively coupled oxygen discharges
著者 (3件):
HANNESDOTTIR H
(Univ. Iceland, Reykjavik, ISL)
,
GUDMUNDSSON J T
(Univ. Iceland, Reykjavik, ISL)
,
GUDMUNDSSON J T
(KTH-Royal Inst. of Technol., Stockholm, SWE)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
25
号:
5
ページ:
055002,1-15
発行年:
2016年10月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)