文献
J-GLOBAL ID:201702295189102530
整理番号:17A1090446
リソグラフィーパターンとナノ構造の解析用に設計したツール
Designed tools for analysis of lithography patterns and nanostructures
著者 (9件):
DERVILLE Alexandre
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
DERVILLE Alexandre
(Univ. Grenoble Alpes, FRA)
,
BADEROT Julien
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
BERNARD Guilhem
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
FOUCHER Johann
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
GROENQVIST Hanna
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
LABROSSE Aurelien
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
MARTINEZ Sergio
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
,
ZIMMERMANN Yann
(POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10145
号:
Pt.1
ページ:
101450I.1-101450I.12
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)