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文献
J-GLOBAL ID：201702295950268563
整理番号：17A0132732
原子層堆積法で成長させた酸化アルミ/酸化チタンのナノ積層体:成長と機械的性質
Aluminum oxide/titanium dioxide nanolaminates grown by atomic layer deposition: Growth and mechanical properties
Ylivaara Oili M. E.
(VTT Technical Research Centre of Finland, P.O. Box 1000, FI-02044 VTT, Finland)
,
Kilpi Lauri
(VTT Technical Research Centre of Finland, P.O. Box 1000, FI-02044 VTT, Finland)
,
Liu Xuwen
(Department of Materials Science and Engineering, Aalto University School of Chemical Technology, P.O. Box 16200, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Sintonen Sakari
(Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University School of Electrical Engineering, P.O. Box 13500, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Ali Saima
(Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University School of Electrical Engineering, P.O. Box 13500, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Laitinen Mikko
(Department of Physics, University of Jyvaeskylae, P.O. Box 35, FI-40014 Jyvaeskylae, Finland)
,
Julin Jaakko
(Department of Physics, University of Jyvaeskylae, P.O. Box 35, FI-40014 Jyvaeskylae, Finland)
,
Haimi Eero
(Department of Materials Science and Engineering, Aalto University School of Chemical Technology, P.O. Box 16200, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Sajavaara Timo
(Department of Physics, University of Jyvaeskylae, P.O. Box 35, FI-40014 Jyvaeskylae, Finland)
,
Lipsanen Harri
(Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University School of Electrical Engineering, P.O. Box 13500, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Hannula Simo-Pekka
(Department of Materials Science and Engineering, Aalto University School of Chemical Technology, P.O. Box 16200, FI-00076 Aalto, Finland)
,
Ronkainen Helena
(VTT Technical Research Centre of Finland, P.O. Box 1000, FI-02044 VTT, Finland)
,
Puurunen Riikka L.
(VTT Technical Research Centre of Finland, P.O. Box 1000, FI-02044 VTT, Finland)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35 号： 1 ページ： 01B105-01B105-13 発行年： 2017年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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