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文献
J-GLOBAL ID：201702296215211987
整理番号：17A0668375
WLPにおける再分布層の200°C硬化感光性PBOの信頼性【Powered by NICT】
Reliability of 200 °C curable photodefinable PBO for re-distribution layer in WLP
Nishimura Masato
(Packaging solution center, Hitachi Chemical Co., Ltd., 48, Wadai, Tsukuba, Ibaraki, 300-4247, Japan)
,
Matsukawa Daisaku
(Technology Development Center, Hitachi Chemical DuPont MicroSystems, Ltd., 4-13-1, Higashi-cho, Hitachi, Ibaraki, 317-8555, Japan)
,
Matsuie Noritaka
(Technology Development Center, Hitachi Chemical DuPont MicroSystems, Ltd., 4-13-1, Higashi-cho, Hitachi, Ibaraki, 317-8555, Japan)
,
Yamazaki Noriyuki
(Technology Development Center, Hitachi Chemical DuPont MicroSystems, Ltd., 4-13-1, Higashi-cho, Hitachi, Ibaraki, 317-8555, Japan)
,
Enomoto Tetsuya
(Technology Development Center, Hitachi Chemical DuPont MicroSystems, Ltd., 4-13-1, Higashi-cho, Hitachi, Ibaraki, 317-8555, Japan)
,
Ohe Masayuki
(Technology Development Center, Hitachi Chemical DuPont MicroSystems, Ltd., 4-13-1, Higashi-cho, Hitachi, Ibaraki, 317-8555, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： ICSJ ページ： 197-200 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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