文献
J-GLOBAL ID:201702298792176503
整理番号:17A0118245
フィッシュボーン形状のマイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の共振周波数に及ぼす短ビームの長さとギャップ距離の影響【Powered by NICT】
The effect of short beam length and gap distance on the resonance frequencies in Fishbone-shaped microelectromechanical system resonator
著者 (4件):
Takahashi Ryo
(Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan)
,
Miyashita Hidetoshi
(Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan)
,
Kinoshita Kentaro
(Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan)
,
Lee Sang-Seok
(Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SENSORS
ページ:
1-3
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)