文献
J-GLOBAL ID:201702299969942643
整理番号:17A0401114
a-C:H膜の調製のための準大気圧グロー放電プラズマの特性【Powered by NICT】
Characteristics of sub-atmospheric pressure glow discharge plasmas for preparation of a-C:H films
著者 (6件):
Kikuchi Yusuke
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
,
Ogura Masataka
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
,
Otsubo Akira
(Kurita Seisakusho Co. Ltd., Ujitawara-cho Yuyatani, Tsuduki-gun, Kyoto 610-0221, Japan)
,
Nishimura Yoshimi
(Kurita Seisakusho Co. Ltd., Ujitawara-cho Yuyatani, Tsuduki-gun, Kyoto 610-0221, Japan)
,
Nagata Masayoshi
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
,
Yatsuzuka Mitsuyasu
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
136
ページ:
196-202
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)