文献
J-GLOBAL ID:201802210375450846
整理番号:18A1426895
モノリシック3D(M3D)相補型金属-酸化物-半導体(CMOS)-ナノ電気機械(NEM)ハイブリッド回路【JST・京大機械翻訳】
Monolithic 3D (M3D) Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS)-Nanoelectromechanical (NEM) Hybrid Circuits
著者 (1件):
Choi Woo Young
(Sogang University, Seoul, Korea)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
EDTM
ページ:
125-127
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)