文献
J-GLOBAL ID:201802210995689461
整理番号:18A0970930
サブ5nmナノ押込と接着測定のためのMEMSシステム(MEMS)力変位変換器【JST・京大機械翻訳】
A microelectromechanical systems (MEMS) force-displacement transducer for sub-5 nm nanoindentation and adhesion measurements
著者 (4件):
Zhang Youfeng
(Department of Mechanical Engineering, Texas A&M University, College Station, Texas 77840, USA)
,
Oh Yunje
(Hysitron, Inc., 9625 West 76th Street, Minneapolis, Minnesota 55344, USA)
,
Stauffer Douglas
(Hysitron, Inc., 9625 West 76th Street, Minneapolis, Minnesota 55344, USA)
,
Polycarpou Andreas A.
(Department of Mechanical Engineering, Texas A&M University, College Station, Texas 77840, USA)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
89
号:
4
ページ:
045109-045109-9
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)