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J-GLOBAL ID：201802211317172853 整理番号：18A0609704

プラズマ支援InP/Al_2O_3/SOI直接ウエハボンディングに及ぼすNH_4OH処理の影響【Powered by NICT】

Effect of NH₄OH Treatment on Plasma-Assisted InP/Al₂O₃/SOI Direct Wafer Bonding

著者 (8件)：

Gong Kewei

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Sun Changzheng

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Xiong Bing

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Han Yanjun

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Hao Zhibiao

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Wang Jian

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Wang Lai

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

,

Li Hongtao

(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology State Key Lab on Integrated Optoelectronics Department of Electronic Engineering Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

資料名：

Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)

巻： 215 号： 5 ページ： ROMBUNNO.201700739 発行年： 2018年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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