文献
J-GLOBAL ID:201802211330467144
整理番号:18A1512261
>10:1アスペクト比中間プロセスTSVに対する製造上の価値のある解決策としての先進メタライザチSnプロセスの統合【JST・京大機械翻訳】
Advanced Metallizatisn Processes Integration as Manufacturing Worthy Solutions for > 10:1 Aspect Ratio Mid-Process TSV
著者 (6件):
Mourier Thierry
(17 rue des martyrs, CEA-LETI - MINATEC campus, Grenoble, Cedex, 38054, France)
,
Gottardi Mathilde
(17 rue des martyrs, CEA-LETI - MINATEC campus, Grenoble, Cedex, 38054, France)
,
Ribiere Celine
(17 rue des martyrs, CEA-LETI - MINATEC campus, Grenoble, Cedex, 38054, France)
,
Minoret Stephane
(17 rue des martyrs, CEA-LETI - MINATEC campus, Grenoble, Cedex, 38054, France)
,
Philip Pierre-Emile
(17 rue des martyrs, CEA-LETI - MINATEC campus, Grenoble, Cedex, 38054, France)
,
Romero Gilles
(850 rue Jean Monnet, STMicroelectronics, Crolles, Cedex, F-38926, France)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IITC
ページ:
141-143
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)