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文献
J-GLOBAL ID：201802211816439004
整理番号：18A1976167
水素-アルゴン混合スパッタリング法により作製したBi2Te3薄膜の構造評価
Structural Evaluation of Bi2Te3 Thin Films Prepared by Hydrogen-Argon Mixing Sputtering
TAKANO Kousuke
(Department of Materials Science, Tokai University)
,
HAMADA Jun
(Department of Materials Science, Tokai University)
,
TAKASHIRI Masayuki
(Department of Materials Science, Tokai University)
資料名：
Journal of Advanced Science (Web)
(Journal of Advanced Science (Web))
巻： 30 ページ： ROMBUNNO.30105(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： U0417A ISSN： 1881-3917 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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