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文献
J-GLOBAL ID：201802212772348810
整理番号：18A1796433
多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発(第二報)-スペックルを利用したミラーアライメント調整精度の検討-
井上陽登
(大阪大 大学院工学研究科)
,
松山智至
(大阪大 大学院工学研究科)
,
中村南美
(大阪大 大学院工学研究科)
,
湯本博勝
(高輝度光科学研究セ)
,
犬伏雄一
(高輝度光科学研究セ)
,
犬伏雄一
(理研 播磨研)
,
小山貴久
(高輝度光科学研究セ)
,
大坂泰斗
(理研 播磨研)
,
井上伊知郎
(理研 播磨研)
,
登野健介
(高輝度光科学研究セ)
,
登野健介
(理研 播磨研)
,
大橋治彦
(高輝度光科学研究セ)
,
矢橋牧名
(高輝度光科学研究セ)
,
矢橋牧名
(理研 播磨研)
,
石川哲也
(理研 播磨研)
,
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018 号： 秋季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.D04-4 発行年： 2018年08月20日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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