文献
J-GLOBAL ID:201802212778899312
整理番号:18A1510665
高温でのMEMS構造における窒化ケイ素の破壊強度の決定におけるサイズと形状の影響【JST・京大機械翻訳】
Size and Shape Effect in the Determination of the Fracture Strength of Silicon Nitride in MEMS Structures at High Temperatures
著者 (3件):
Navarrete Gonzalez Alex Axel
,
Brace Eric
,
Nieva Patricia
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
ECTC
ページ:
2457-2463
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)