文献
J-GLOBAL ID:201802213143764550
整理番号:18A2043979
乾燥誘起パターン崩壊に影響する要因【JST・京大機械翻訳】
Factors Influencing Drying Induced Pattern Collapse
著者 (3件):
Mui David S.L.
(Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538)
,
Musselwhite Nathan
(Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538)
,
Kawaguchi Mark
(Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538)
資料名:
Solid State Phenomena
(Solid State Phenomena)
巻:
282
ページ:
201-206
発行年:
2018年
JST資料番号:
T0583A
ISSN:
1012-0394
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)