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文献
J-GLOBAL ID：201802213609677996
整理番号：18A0849680
デュアルモードBAW共振器を用いたAlSCN薄膜の材料定数抽出【JST・京大機械翻訳】
Material constants extraction for AlScN thin films using a dual mode baw resonator
Parsapour Fazel
(Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland)
,
Pashchenko Vladimir
(Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland)
,
Nicolay Pascal
(CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria)
,
Murali Paul
(Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： MEMS ページ： 763-766 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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