文献
J-GLOBAL ID:201802214069864243
整理番号:18A1008232
超薄原子層堆積二酸化ハフニウムによるメソ多孔性多層における細孔充填の光学的キャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】
Optical characterization of pore filling in mesoporous multilayers by ultrathin atomic layer deposited hafnium dioxide
著者 (2件):
Kovacs Andras
(Department of Medical and Mechanical Engineering, Institute for Microsystems Technology, Furtwangen University, Robert-Gerwig-Platz 1, 78120 Furtwangen, Germany)
,
Mescheder Ulrich
(Department of Medical and Mechanical Engineering, Institute for Microsystems Technology, Furtwangen University, Robert-Gerwig-Platz 1, 78120 Furtwangen, Germany)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
36
号:
3
ページ:
031508-031508-8
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)