文献
J-GLOBAL ID:201802214601570917
整理番号:18A1738701
PZTに基づく500MHz超音波センサ設計とMEMS製作【JST・京大機械翻訳】
Design of PZT-based 500 MHz ultrasonic sensor and MEMS fabrication
著者 (4件):
Liu Jia
(復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433)
,
Wang Xubo
(復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433)
,
Xu Weijiang
(法国国家科研中心電子微電子与納米技術研究所UMR CNRS 8520瓦朗謝納和埃諾-坎布雷斯大学声光電子学部,法国F-59313)
,
Zhou Jia
(復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433)
資料名:
Chuanganqi yu Wei Xitong
(Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻:
37
号:
7
ページ:
63-65,69
発行年:
2018年
JST資料番号:
C3686A
ISSN:
1000-9787
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)