文献
J-GLOBAL ID:201802214823485779
整理番号:18A1144127
プラズマ支援原子層堆積による長範囲規則化垂直III-窒化物ナノシリンダアレイ【JST・京大機械翻訳】
Long-range ordered vertical III-nitride nano-cylinder arrays via plasma-assisted atomic layer deposition
著者 (6件):
Haider Ali
(UNAM - Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, Ankara 06800, Turkey)
,
Deminskyi Petro
,
Yilmaz Mehmet
,
Elmabruk Kholoud
,
Yilmaz Ibrahim
,
Biyikli Necmi
資料名:
Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices
(Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻:
6
号:
24
ページ:
6471-6482
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2383A
ISSN:
2050-7526
CODEN:
JMCCCX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)