文献
J-GLOBAL ID:201802214888409864
整理番号:18A0615406
熱可塑性プラスチックに及ぼすマイクロピラー製作のためのロールナノインプリントリソグラフィーへの熱ロール【Powered by NICT】
Thermal roll to roll nanoimprint lithography for micropillars fabrication on thermoplastics
著者 (4件):
Retolaza Aritz
(Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain)
,
Juarros Aritz
(Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain)
,
Ramiro Jorge
(Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain)
,
Merino Santos
(Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
193
ページ:
54-61
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)