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文献
J-GLOBAL ID：201802215361661569
整理番号：18A0932019
光キャリア計数による界面状態の非接触評価
Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting
FURUTA Masaaki
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
SHIMIZU Kojiro
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
MAETA Takahiro
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
MIYASHITA Moriya
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
IZUNOME Koji
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
KUBOTA Hiroshi
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 3 ページ： 031301.1-031301.6 発行年： 2018年03月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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