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文献
J-GLOBAL ID：201802216277349762
整理番号：18A0619355
DCマグネトロンスパッタリングにより成長させたTiCとTiC/Ti薄膜の構造と機械的特性【Powered by NICT】
The structural and mechanical characterization of TiC and TiC/Ti thin films grown by DC magnetron sputtering
Fogarassy Zsolt
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
,
Olah Nikolett
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
,
Cora Ildiko
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
,
Horvath Zsolt Endre
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
,
Csanadi Tamas
(Institute for Materials Research, Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia)
,
Sulyok Attila
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
,
Balazsi Katalin
(Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Konkoly-Thege M. str. 29-33, 1121 Budapest, Hungary)
資料名：
Journal of the European Ceramic Society
(Journal of the European Ceramic Society)
巻： 38 号： 7 ページ： 2886-2892 発行年： 2018年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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