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文献
J-GLOBAL ID：201802216746900768
整理番号：18A0995093
室温でプラズマ増強原子層堆積により成長させたZnO薄膜の材料特性の調整【JST・京大機械翻訳】
Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature
Pilz Julian
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Perrotta Alberto
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Christian Paul
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Tazreiter Martin
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Resel Roland
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Leising Guenther
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Griesser Thomas
(Institute of Chemistry of Polymeric Materials, University of Leoben, 8700 Leoben, Austria)
,
Coclite Anna Maria
(Institute of Solid State Physics, NAWI Graz, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36 号： 1 ページ： 01A109-01A109-9 発行年： 2018年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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