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文献
J-GLOBAL ID：201802219521602100
整理番号：18A0129335
ハイブリッドPVD/PECVDプロセスによるTiドープDLC膜の合成と電気化学的性質【Powered by NICT】
Synthesis and electrochemical properties of Ti-doped DLC films by a hybrid PVD/PECVD process
Jo Yeong Ju
(School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Jo Yeong Ju
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Zhang Teng Fei
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Zhang Teng Fei
(National Core Research Center for Hybrid Materials Solution, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Son Myoung Jun
(School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Son Myoung Jun
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Kim Kwang Ho
(School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Kim Kwang Ho
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
,
Kim Kwang Ho
(National Core Research Center for Hybrid Materials Solution, Pusan National University, Busan, 609-735, South Korea)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 433 ページ： 1184-1191 発行年： 2018年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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