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文献
J-GLOBAL ID：201802219522400684
整理番号：18A0849714
オンザマシン測定のための大面積接触共鳴分光マッピングシステム【JST・京大機械翻訳】
Large area contact resonance spectroscopy mapping system for on-the-machine measurements
Bertke Maik
(Institute of Semiconductor Technology (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Fahrbach Michael
(Institute of Semiconductor Technology (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Hamdana Gerry
(Institute of Semiconductor Technology (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Wasisto Hutomo Suryo
(Institute of Semiconductor Technology (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Peiner Erwin
(Institute of Semiconductor Technology (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig, Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： MEMS ページ： 897-900 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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