文献
J-GLOBAL ID:201802220019593819
整理番号:18A0443860
円形ジンバル静電ねじれマイクロミラーの解析とシミュレーション【Powered by NICT】
Analysis and simulation of round gimbaled electrostatic torsion micro-mirror
著者 (4件):
Bahgat Ahmed S.
(Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt)
,
Zaki Ahmed H.
(Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt)
,
Abdo M. Mohamed
(Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt)
,
El-Sherif Ashraf F.
(Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICCES
ページ:
708-711
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)