文献
J-GLOBAL ID:201802222097886417
整理番号:18A0111274
Simulation-Based MDP Verification for Leading-Edge Masks
著者 (7件):
SU Bo
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
,
SYREL Oleg
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
,
POMERANTSEV Michael
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
,
HAGIWARA Kazuyuki
(D2S, KK, (Japan), Yokohama, JPN)
,
PEARMAN Ryan
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
,
PANG Leo
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
,
FUJIMURA Aki
(D2S, Inc. (USA), CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10454
ページ:
1045409.1-1045409.6
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)